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直線電機音圈電機驅動的光刻機雙工件臺

返回列表 來源:同茂電機官網 瀏覽:- 發布日期:2021-08-05 11:16:07【

直線電機音圈電機驅動的光刻機雙工件臺

光刻機主要由工件臺、投影物鏡和光源三大核心子系統件組成。直線電機光刻機工件臺是光刻機的核心子系統之一,其主要功能是承載晶圓按照指定的運動軌跡做高速超精密運動并完成一系列曝光所需動作,包括上下片、對準、晶圓面型測量和曝光等。

光刻機雙工件臺,即在一臺光刻機內有兩個承載晶圓的工件臺。兩個工件臺相互獨立,但同時運行,一個工件臺上的晶圓做曝光時,另一個工件臺對晶圓做測量等曝光前的準備工作。當曝光完成之后,兩個工件臺交換位置和職能,如此循環往復實現光刻機的高產能;

光刻機工件臺承載晶圓按照指定的運動軌跡做高速超精密運動并完成一系列曝光所需動作。

2012年朱煜與清華IC裝備團隊中的7人聯合投資成立了華卓精科,目標就是攻克光刻機超精密雙工件臺技術。

在原有的技術積累和國家專項資金的扶持下,歷經短短數年時間華卓精科的雙工件臺樣機,就通過國家科技重大項目的驗收,中國也成為繼荷蘭之后第二個掌握光刻機雙工件臺技術的國家。華卓精科的雙工件臺運用磁懸浮電機方案,可以利用磁懸浮電機驅動超精密的乘片臺,最高能實現納米級分辨率的套刻精度。

北京華卓精科目前是國內首家自主研發并實現直線電機光刻機雙工件臺商業化生產的企業,是國產高端光刻機龍頭企業上海微電子的雙工件臺產品及技術開發的供應商;華卓精科的核心產品光刻機雙工件臺,是芯片制造IC前道光刻機的核心部件之一,其性能在光刻機對晶圓進行光刻時起到決定性影響;

目前面世的納米級超精密氣浮運動臺,包含宏動模塊與微動模塊。微動模塊采用自主研發的氣浮軸承及音圈電機驅動,宏動模塊主要采用U型無鐵芯直線電機,可實現平面XY同步運動;采用激光干涉儀作為位置反饋,實現納米級定位精度與重復定位精度。

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我們常聽到的光刻機工件臺在掃描曝光過程中要求納米級的定位精度,采用了長行程直線電機粗動加音圈電機高精密微動補償的6自由度復合運動系統能滿足要求。同時為減小微動電機的運動范圍和加速度,得提高直線電機的軌跡跟蹤精度。

U型無鐵芯直線電機和音圈電機是在半導體設備高速超精密運動領域不可或缺的精密配件,對其可靠性穩定行一致性要求特別高,成熟的生產工藝和完善的選材標準以及精密的機械加工是對國內直線電機生產廠家基本的要求;

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