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同茂單軸高精密直線電機平臺模組

單軸高精密直線電機平臺模組
1,行程(travel): 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
2,定位精度高達(直線誤差修正后):±0.5μm(Travel≤200mm)
3,穩定且優良的軸系提供了高的平滑運動,經算法優化可以獲得極小的動態跟隨誤差
4,線性表現優良的光柵反饋系統,可以獲得高的point-to-point位置精度以及亞微米級的重復性
5,標準的模塊化設計,靈活的單軸/多軸解決方案
6,整體密封結構,輕量化、高剛性結構設計,低成本,高性能
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單軸高精密直線電機平臺模組

1,直線電機平臺行程:100mm/150mm/200mm/300mm/400mm/500mm/600mm;

2,直線電機平臺定位精度:±2.5um,雙向重復定位精度:±0.75um;

    直線電機平臺定位精度:±1.5um,雙向重復定位精度:±0.25um;

3,直線電機平臺基礎材料采用進口鋁合金7075,有限元分析,一體化加工成型,減少因導軌和鋁主體

    不同的熱膨脹系數引起的折彎效應;

4,直線電機平臺采用采用高性能同茂電機無鐵芯U型槽直線電機驅動,持續推力在50N-680N,直線電機

     采用歐美工藝及特殊磁路設計,直線電機動力性能強,推力特征穩定,速度波動小;

5,直線電機平臺集成具有較好線性表現的開放式增量光柵系統,可以提供亞納米級的分辨率、重復性和穩定性。

6,直線電機平臺穩定的光學零位,保障雙向回零的重復性和可靠性。

7,直線電機平臺經激光干涉儀標定補償,可以輕易獲得理想的定位精度,輕松實現您對于高精密定位的要求。

8,直線電機平臺平臺擁有優良的設計,嚴苛的軸系裝配工藝,具有極高性能,高性價比,可以直接替換進口

    使得HPL-LM系列直驅平臺得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業應用;

 9,直線電機平臺應用領域:半導體晶圓檢測、微電子組件測試、取放、DNA測序、激光加工等領域。

10,控制方案推薦:PMAC Clipper+Parker Aries系列驅動器(高精度,高動態響應)

    Parker PAC+Parker Aries系列驅動器(高分布式高速運動總線)


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