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2,動子質量輕,高速,高加速;
3,大間隙同茂圓柱音圈電機,擺角范圍大;
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1,產生標準角位移,角速度和角加速度;

2,采用正弦信號校準幅頻和相頻;

型         號:TMEC-V-40

鏡面尺寸:300*300

負       載:5kg

行       程:θX, θY: ± 20urad

精       度:5urad

帶       寬:150Hz


型         號:TMEC-V-60

鏡面尺寸:400mm

負       載:5kg

行程:θX, θYθZ: ± 10urad

分  辨 率:5nm

帶      寬:10Hz


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