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XYZ三軸高精密直線電機平臺模組

1,直驅平臺行程：600mm*600mm*200mm;

2,直驅平臺定位精度：定位精度高達（直線誤差修正后）：X軸：±0.2μm，Y軸：±0.2μm，Z軸：±0.5μmTravel≤200mm）

3,直驅平臺基礎材料采用進口鋁合金7075，有限元分析，整體加工成型,減少因導軌和鋁主體

    不同的熱膨脹系數引起的折彎效應；

4,直驅平臺采用采用高性能同茂電機無鐵芯U型槽直線電機驅動，持續推力在50N-680N，直線電機

     采用歐美工藝及特殊磁路設計，直線電機動力性能強，推力特征穩定，速度波動小；

5,直驅平臺集成具有好的線性表現的開放式增量光柵系統，可以提供亞納米級的分辨率、重復性和穩定性。

6,直驅平臺穩定的光學零位，保障雙向回零的重復性和可靠性。

7,直驅平臺經激光干涉儀標定補償，可以輕易獲得理想的定位精度，輕松實現您對于高精密定位的要求。

8,直驅平臺平臺擁有優良的設計，嚴苛的軸系裝配工藝，具有高性能，高性價比，可以直接替換進口

    使得HPL-LM系列直驅平臺得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業應用;

 9,直驅平臺應用領域：二維直驅平臺由兩臺直線電機驅動的標準單軸精密直驅平臺構成，可同時對兩臺

  直線電機進行同步或者單獨控制。由于采用標準平臺進行疊加組合應用，因此可根據實際需要分別對

  行程、負載、定位精度、雙向重復定位精度進行選擇，可選范圍寬、組合靈活、成本低等特點，是一

  款模塊化的直驅產品實用化的平臺,以其快速的響應、準確的定位和高可靠性而廣泛應用于高速自動化

  設備、精密測量系統、電子與半導體加工設備，激光加工設備等領域;工業應用領域：PCB加工、電子

          元件插裝、快速貼片、點膠機、機械裝備高速IT設備、機床設備、電子,裝配及元器件插裝、激光切割、

          膠黏劑投放、檢查設備; 科研領域：精密運動控制、各類現代控制方法的理論與實驗研究、高速高加速

          長行程直線電機平臺的應用等;教學實驗課程：數控機床、機電一體化、自動控制理論、單片機及單板機、

         工業自動化、各類現代控制理論課程等，可用于機制及其自動化、工業自動化、自動控制等專業的教學實驗。

10,控制方案推薦：PMAC Clipper+Parker Aries系列驅動器（高精度，高動態響應）

                                               Parker PAC+Parker Aries系列驅動器（高分布式高速運動總線）

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