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音圈電機芯片高速分選包裝機
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高速，高加速，高精度
噪音低
產能高：7200
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弧形音圈電機二維跟蹤擺鏡
同茂弧形音圈電機應用
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雙軸跟蹤正弦給曲線1.5sin時：
E的跟蹤誤差0.023，A軸跟蹤誤差0.0331，
雙軸跟蹤0.15 sin的正弦曲線時，E軸的跟蹤誤差小于14”，A軸的誤差小于25” 。
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六自由度微振音圈電機平臺
采用Stewart平臺構型，由音圈電機驅動，主要性能參數：
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1，平臺上板/底板直徑0.5m、高度0.17m、總重45Kg（其中上板、底板重40Kg）；
2， 承載＞100Kg（附加重力卸載裝置）；
3， 控制帶寬高于500Hz，主模態（1~6階）頻率4.4Hz~8.5Hz；
4， 作動桿峰值力80N、行程5mm。
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